產(chǎn)品型號   

三靶磁控濺射儀（TN-600-3HD）   

安裝條件   

 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。   

1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）   

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地   

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭）及減壓閥   

4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上   

5、通風(fēng)裝置：需要   

主要特點(diǎn)   

1、配置三個(gè)靶槍，一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜，兩個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜（靶槍可以根據(jù)客戶需要任意調(diào)換）。   

2、可制備多種薄膜，應(yīng)用廣泛。   

3、體積小，操作簡便。   

4、整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)，真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計(jì)，可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整購買需求。   

5、可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源，可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍，也可多個(gè)電源單一控制靶槍。   

技術(shù)參數(shù)   

1、電源電壓：220V   50Hz   

2、總功率：2.5KW   

3、極限真空度：<  E-6mbar（配合本公司設(shè)備使用可達(dá)到 E-5mbar）   

4、工作溫度：RT-500℃，精度±1℃（可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度）   

5、靶槍數(shù)量：3個(gè)   

6、靶槍冷卻方式：水冷   

7、靶材尺寸：?2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）   

8、直流濺射功率：500W（可選）   

9、射頻濺射功率：300W/500W（可選）   

10、載樣臺：?140mm   

11、載樣臺轉(zhuǎn)速：1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)   

12、保護(hù)氣體：Ar、N2等惰性氣體   

13、進(jìn)氣氣路：質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣，每個(gè)流量為100SCCM   

產(chǎn)品規(guī)格   

主機(jī)尺寸：500mm×560mm×660mm，整機(jī)尺寸：1300mm×660mm×1200mm；重量：160kg   

標(biāo)準(zhǔn)配件   

1   

直流電源控制系統(tǒng)   

2套   

2   

射頻電源控制系統(tǒng)   

1套   

3   

膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng)   

1套   

4   

600分子泵組

1臺   

5   

工業(yè)級水冷機(jī)   

1臺   

6   

冷卻水管（?6mm）   

4根   

可選配件   

金、銦、銀、白金等各種靶材