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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：小型單靶磁控直流濺射鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號：MSP180G-DC
  • 產(chǎn)品廠商：泰諾
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
小型單靶磁控直流濺射鍍膜儀是一款實驗室制備材料薄膜的理想設(shè)備，該小小型單靶磁控直流濺射鍍膜儀配150W直流電源，可用于金屬濺射鍍膜。
詳情介紹：

小型單靶磁控直流濺射鍍膜儀經(jīng)過小型化設(shè)計，將設(shè)備外形限制在了桌面級別，大大減少了安裝場地需求。設(shè)備配有一個直流電源，能夠用于濺射金屬材料，具有速度快溫升低等特點。


名稱
小型單靶磁控直流濺射鍍膜儀
特點
  • 速度快溫升低
  • 可用于制備單層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜等
  • 小型化設(shè)計，將設(shè)備外形限制在了桌面級別
技術(shù)參數(shù)
  • 樣品臺： 直徑100mm，可加熱 *高溫度500℃，可旋轉(zhuǎn) 0-20rpm 可調(diào)
  • 磁控靶槍： 2 英寸圓形平面靶, 
  • 真空腔體： Φ180mm × H 215mm;高純石英; 觀察窗口 全向透明; 開啟方式 頂蓋拆卸式
  • 直流電源： 功率 *大150W ，數(shù)量 1
  • 真空系統(tǒng) 
  1.  機械泵 旋片泵 抽速 1.1L/S，
  2.  分子泵 渦輪分子泵 抽速 600L/s
  3.  真空測量 電阻規(guī)+電離規(guī)
  4.  極限真空 1.0E-4Pa
  5.  抽氣接口 KF16
    抽氣接口 KF40
    排氣接口 KF16
  • 供電電壓：AC220V 50H 整機功率 2kw
  • 整機尺寸：550*350*400mm