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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:四英寸同步加熱防腐勻膠機(jī)

  • 產(chǎn)品型號(hào):TN-SPC4-E-H
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
四英寸同步加熱防腐勻膠機(jī)采用特殊設(shè)計(jì),使得在勻膠過(guò)程中能夠同步對(duì)基片進(jìn)行加熱,*高加熱溫度為200℃,能夠滿足一些溶液在勻膠過(guò)程中的溫度要求。同時(shí)四英寸同步加熱防腐勻膠機(jī)還配有排液管和廢料罐,方便客戶收集廢液,有效防止腐蝕性液體飛濺到環(huán)境中。
詳情介紹:

TN-SPC4-E-H 四英寸同步加熱防腐勻膠機(jī) 本型采用特殊設(shè)計(jì),使得在勻膠過(guò)程中能夠同步對(duì)基片進(jìn)行加熱,*高加熱溫度為200℃,能夠滿足一些溶液在勻膠過(guò)程中的溫度要求。同時(shí)設(shè)備還配有排液管和廢料罐,方便客戶收集廢液,有效防止腐蝕性液體飛濺到環(huán)境中。

旋涂?jī)x也稱勻膠機(jī),是利用高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力來(lái)涂覆膜料的設(shè)備。勻膠機(jī)可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要應(yīng)用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領(lǐng)域。


加熱防腐勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù):

名稱

四英寸同步加熱防腐勻膠機(jī)

型號(hào)

TN-SPC4-E-H

特點(diǎn)

  • 體選用PTFE(聚四氟乙烯) 可用于含HF H3PO4 的液體
  • 樣品臺(tái) 鍍金銅 導(dǎo)熱性好
  • 陶瓷加熱環(huán) 加熱 RT~200℃
  • 排液管和廢液罐,方便客戶收集廢液,有效防止腐蝕性液體飛濺到環(huán)境中

技術(shù)參數(shù)

  • 電源 AC220V 50Hz
  • 腔體材質(zhì) PTFE(聚四氟乙烯)
  • 可用于含HF H3PO4 的液體
  • 上蓋 PVC (聚氯乙烯,方便觀察涂膜狀態(tài))
  • 樣品臺(tái) 鍍金銅 導(dǎo)熱性好
  • 基片尺寸 直徑≤4 英寸(100mm)
  • 加熱方式 陶瓷加熱環(huán)
  • 工作溫度 RT~200℃
  • 轉(zhuǎn)速 0-3000RPM
  • 轉(zhuǎn)速分辨率 1RPM
  • 操作方式 7寸高清LCD 觸控屏
  • 滴膠方式 手動(dòng)滴膠,在旋涂過(guò)程中可以提供液體
  • 排液管和廢液罐 PTFE (聚四氟乙烯)
  • 勻膠曲線 每條曲線5段,共可儲(chǔ)存5條曲線
  • 真空吸盤(pán) 鍍金,3片直徑分別為10mm,25mm,55mm
  • 真空泵 無(wú)油泵 抽速 50L/min