0371-5536 5392 0371-5519 9322
雙溫區(qū)滑道旋轉(zhuǎn)管式爐CVD系統(tǒng)
1.本產(chǎn)品主體結(jié)構(gòu)是雙溫區(qū)滑道旋轉(zhuǎn)管式爐，爐管中部有混料隔板，能夠隨著爐管的旋轉(zhuǎn)將粉體或者顆粒反復(fù)混合，
2.通過機(jī)械傳動(dòng)控制工作管能360°不間斷旋轉(zhuǎn)，使得管內(nèi)物料攪拌混合獲得均勻受熱效果；
3.爐體在支架上能夠前后滑動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)快速升降溫。
4.設(shè)備配有兩路浮子流量計(jì)，可用于向路管內(nèi)通入兩種氣體，
5.同時(shí)設(shè)備配有高性能機(jī)械泵，能夠快速將爐管抽至真空；通過泵和氣路的配合可以實(shí)現(xiàn)多種CVD工藝。
6.旋轉(zhuǎn)裝置十分適合在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對(duì)粉末材料用CVD方法進(jìn)行包裹和修飾。
技術(shù)參數(shù)
|
雙溫區(qū)管式爐 |
產(chǎn)品型號(hào) |
TN-O1200-60IIT-R |
|
設(shè)備功率 |
3KW |
|
|
爐管材質(zhì) |
高純石英 |
|
|
爐管直徑 |
60mm |
|
|
爐管長(zhǎng)度 |
1600mm |
|
|
爐膛長(zhǎng)度 |
440mm |
|
|
加熱區(qū)長(zhǎng) |
200mm+200mm |
|
|
工作溫度 |
0～1150℃ |
|
|
極限溫度 |
1200℃ |
|
|
控溫精度 |
±1℃ |
|
|
控溫模式 |
30段或50段程序控溫 |
|
|
顯示模式 |
高清全彩LCD觸控屏 |
|
|
密封方式 |
304不銹鋼真空法蘭 |
|
|
供電電源 |
AC:110V 50/60Hz 2.5kW |
|
|
滑軌長(zhǎng)度 |
2030mm，可滑動(dòng)范圍1500mm |
|
|
旋轉(zhuǎn)速度 |
0~20rpm |
|
|
2路浮子流量計(jì) |
產(chǎn)品型號(hào) |
CY-2F |
|
氣路數(shù)量 |
2路 |
|
|
流量計(jì)類型 |
浮子流量計(jì) |
|
|
測(cè)量范圍 |
A路：0~160mL/min; B路：0~100mL/min |
|
|
測(cè)量精度 |
4% |
|
|
管道耐壓 |
不銹鋼管，耐壓3MPa |
|
|
流量計(jì)耐壓 |
1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 |
|
|
管路接口 |
φ8mm快擰接口 |
|
|
真空系統(tǒng) |
真空泵 |
雙極旋片泵 |
|
抽速 |
1.1L/s |
|
|
抽氣接口 |
KF16 |
|
|
泵極限真空度 |
10E-1Pa |
|
|
供電 |
AC110V 50/60Hz |
