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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:全自動多層鈣鈦礦旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)

  • 產(chǎn)品型號:TN-SPC-100ML
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
全自動多層鈣鈦礦旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)適用于鈣鈦礦材料的涂膜,半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)實現(xiàn)滴膠、旋涂、烘干的整個過程自動完成;可同時交替涂覆兩種薄膜
詳情介紹:

全自動多層鈣鈦礦旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)適用于鈣鈦礦材料的涂膜,半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)實現(xiàn)滴膠、旋涂、烘干的整個過程自動完成;可同時交替涂覆兩種薄膜,兩種液體各交替*多500次,實現(xiàn)千層薄膜的涂覆。本機(jī)可用于酸、堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標(biāo)配不同尺寸的真空吸盤,可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤,利用真空吸附的方式固定基片。該機(jī)主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實驗室中進(jìn)行薄膜的生成過程。

勻膠機(jī)主要特點:

1、真空吸附方式固定樣件,操作簡便。

2、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。

3、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。

4、電機(jī)采用24V直流無刷電機(jī),可靠性高,適應(yīng)性強,維修與保養(yǎng)簡單,噪音低,震動小,運轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動快速穩(wěn)定,加速后運行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

5、采用無油真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點。

6、腔體采用聚四氟乙烯材質(zhì),使用壽命更長,耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能;機(jī)身采用鈑金結(jié)構(gòu),結(jié)實耐用且質(zhì)輕。

7、加熱后可通氣體進(jìn)行快速冷卻。

8、中文操作界面(全英文操作系統(tǒng)可選)

9、具有開蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時打開上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止。

10、控制界面采用觸摸屏控制,操作簡單方便,顯示直觀。

11、全自動的涂膜過程:自動滴膠、自動通氣、自動旋涂、自動烘干。

12、可兩種液體交替涂膜,*多可涂1000層薄膜。

旋涂儀技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品名稱

TN-SPC-100ML全自動多層鈣鈦礦旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)

產(chǎn)品型號

TN-SPC-100ML

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1
、水:不需要
2
、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地。
3
、氣:壓縮氣體貨自行規(guī)定的保護(hù)氣體
4
、工作臺:尺寸600mm×600mm×900mm,承重50kgs以上

主要參數(shù)

1、電源:主機(jī)24V   蠕動泵24V   加熱:220V  50HZ       
2
、功率:總功率1200W     加熱:1350W
3
、旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速:500-10000rpm(*小增量為1rpm。)
4
、運行程序:該機(jī)每次涂膜可分AB兩組運行程序完成,每組程序分為六段運行,每組程序可循環(huán)500次,兩組程序*多可涂1000層薄膜。
5
、增減速率設(shè)置范圍:10rpm/s-2000rpm/s(增量為10的整數(shù)倍)
6
、加熱功能:
加熱范圍:RT-200℃(腔體采用耐熱耐腐蝕的聚四氟材質(zhì))(碳纖維加熱管)
7
、聚四氟真空吸盤和鋁制吸盤,規(guī)格:1英寸,2英寸,4英寸。

產(chǎn)品規(guī)格

8、產(chǎn)品規(guī)格:
·
尺寸:旋涂機(jī)450x400x580mm;蠕動泵270x310x280mm;
·
重量:50kg