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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀兩組鎢舟蒸發(fā)源*高可達(dá)3000℃,可實(shí)現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍,該多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計(jì),真空系統(tǒng)、樣品臺(tái)等輔助功能通過(guò)觸控屏一鍵操作。
詳情介紹:

本設(shè)備為多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀,設(shè)備采用前開(kāi)門(mén)式真空腔體設(shè)計(jì),腔體空間大,可拓展性強(qiáng),能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發(fā)鍍膜。腔體內(nèi)配有上置樣品臺(tái),可根據(jù)用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)、加熱及升降,所有操作均通過(guò)觸控屏集成控制。設(shè)備的真空泵組為兩級(jí)式真空系統(tǒng),由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組,可為真空鍍膜試驗(yàn)提供清潔無(wú)油的高真空的環(huán)境;真空系統(tǒng)內(nèi)含有完善的氣動(dòng)閥系統(tǒng),用戶可通過(guò)觸控屏進(jìn)行一鍵式操作實(shí)現(xiàn)抽取真空、不停機(jī)取放樣、完全停機(jī)等操作。

本設(shè)備的蒸發(fā)源共兩組,采取鎢舟蒸發(fā)源,水冷式銅電極,可*大支持300A的大電流,加熱溫度*高可達(dá)3000℃,可實(shí)現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍。本設(shè)備采用一體化設(shè)計(jì),腔體和電控部分左右分置,實(shí)現(xiàn)了水電分離,有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計(jì),真空系統(tǒng)、樣品臺(tái)等輔助功能通過(guò)觸控屏一鍵操作,通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過(guò)面板獨(dú)立操作,在盡可能方便用戶的同時(shí)規(guī)避了誤操作的可能。該設(shè)備設(shè)計(jì)完善性能優(yōu)越,是實(shí)驗(yàn)室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗(yàn)的必備之選。


名稱(chēng)
多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀
特點(diǎn)


  • 蒸發(fā)源共兩組,
  • 采取鎢舟蒸發(fā)源,加熱溫度*高可達(dá)3000℃,可實(shí)現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍
  • 腔體和電控部分左右分置,實(shí)現(xiàn)了水電分離
  • 真空系統(tǒng)、樣品臺(tái)等輔助功能通過(guò)觸控屏一鍵操作
  • 通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過(guò)面板獨(dú)立操作


術(shù)參數(shù)
  1. 樣品臺(tái) *大支持φ150mm樣品 高度 上下70mm可調(diào)
  2. 蒸發(fā)源: 鎢舟x2 
  3. 真空腔體: 腔體材料 304不銹鋼,尺寸 φ300x400mm 觀察窗 前置φ100mm含遮光片,開(kāi)啟方式 前開(kāi)門(mén)式
  4. 膜厚控制晶振式膜厚測(cè)量?jī)x,可選多通道膜厚控制儀
  5. 真空系統(tǒng): 前級(jí)泵 雙極旋片 抽氣接口 KF16
  6. 次級(jí)泵 渦輪分子泵 抽氣接口 CF160
  7. 真空測(cè)量 電阻+電離 復(fù)合真空規(guī)
  8.                  排氣速率 機(jī)械泵1.1L/s, 分子泵 600L/s; 抽氣速率 旋片泵:1.1L/S 
  9. 極限真空 1.0E-5Pa
  10.   供電電源 AC 220V 50/60Hz
  11. 流量計(jì)一路質(zhì)量流量計(jì) 500sccm Ar氣
  12. 控制系統(tǒng): PLC自動(dòng)控制
  13. 操作界面:觸控屏+操作面板
規(guī)格
供電電壓 AC380V,50Hz
整機(jī)功率 5kW 整機(jī)重量 350kg
整機(jī)尺寸 1000mm X 800mm X 1500mm