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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：三路質(zhì)量流量計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：TN-3Z
  • 產(chǎn)品廠商：泰諾
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
產(chǎn)品特點(diǎn)：1.選擇多種氣體方式；2.304不銹鋼管芯，耐腐蝕；3.不銹鋼雙卡快速接頭，連接方便，無(wú)泄漏。
詳情介紹：

○ 適用范圍

1.半導(dǎo)體制造業(yè)

2.真空鍍膜設(shè)備

3.特殊材料表面處理

4.燃?xì)饪刂?

5.泄漏檢測(cè)系統(tǒng)

6.環(huán)境檢測(cè)分析設(shè)備

7.化學(xué)，石化，冶金，光纖等


○ 產(chǎn)品特點(diǎn)

1.選擇多種氣體方式

2.304不銹鋼管芯，耐腐蝕

3.不銹鋼雙卡快速接頭，連接方便，無(wú)泄漏


○ 技術(shù)參數(shù)

功能

三路質(zhì)量流量計(jì)

質(zhì)子流量控制器

工作溫度：5~45 oC
較大壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

輸入電源

AC 220V/50Hz單相

功率

150W

機(jī)械壓力表

有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

針閥

316 不銹鋼

通氣管道

內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管 

外部通氣管道為1/4”聚四氟管 

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

316不銹鋼針閥 

Φ1/4” 不銹鋼管

外形尺寸

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)


○ 免責(zé)聲明

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