○ 產(chǎn)品介紹

TN-3F是一種緊湊型三通道防腐氣體混合輸送系統(tǒng)，可與管式爐一起放入小型通風(fēng)柜中，更**。 所有用氣體潤(rùn)濕的部件都是由PTFE（例如閥門(mén)，管道，混合罐和流量計(jì)）制成的。 它設(shè)計(jì)用于輸送腐蝕性氣體，如硫化氫（H2S）和硒化氫（H2Se），用于CVD處理。

○ 適用范圍

1.半導(dǎo)體制造業(yè)
2.真空鍍膜設(shè)備
3.特殊材料表面處理
4.燃?xì)饪刂?/span>
5.泄漏檢測(cè)系統(tǒng)
6.環(huán)境檢測(cè)和分析設(shè)備
7.化學(xué)，石化，冶金，光纖等

○ 技術(shù)參數(shù) 

Model No.型號(hào)	TN-3
Flow meter type流量計(jì)類(lèi)型	float flow control浮球流量控制
Flow meter pipe core material流量計(jì)管心材質(zhì)	304 stainless steel304不銹鋼
Value type  值類(lèi)型	electromagnetic regulating value 電磁調(diào)節(jié)值
Pipeline normal condition管道正常狀態(tài)	close關(guān)閉
Gas way  氣路	3gas way   3氣路
Connector size 連接器尺寸	1/4'
Pressure range 壓力范圍	-0.1-0.15Mpa
A way range   A 路范圍	10-100ml
B way range   B 路范圍	16-160ml
C way range   C 路范圍	25 - 250mL
flow control range  流量控制范圍	2%-100%
Working temperature  工作溫度	15-50℃
Working Power  工作電源	AC 220V 50-60Hz

○ 免責(zé)聲明

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